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開発品案内


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  太陽電池事業 半導体事業
■ウエハ自動外観検査装置
ウエハ自動外観検査装置 表裏面検査ユニットと裏面検査ユニットを搭載した複合型のウエハ自動外観検査装置です。
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■ウエハ厚み測定装置
ウエハ厚み測定装置

移載機能と厚み測定機能を備えたウエハ厚み測定装置です。

顧客の仕様に合わせカスタマイズに対応致します。
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■チップ洗浄機
チップ洗浄機

純水とエアーの2流体でダイシング後のウエハ表面を洗浄する装置です。

ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応致します。
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■ウエハ搬送機
ウエハ搬送機

ウエハの自動搬送を行うことが出来る搬送機です。

カセットからウエハを取出し、測定機に搬送し、測定終了後のウエハを元のカセット棚に自動搬送します。ご希望の測定機、検査機に対応可能です。
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■EFEM
測定機用EFEM

ご希望のモジュール機器に接続可能なEFEMです。

ご使用用途に応じ、カスタマイズ仕様に対応致します。
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■ウエハソータ TR100シリーズ
ウエハソータ TR100シリーズ

顧客の仕様に合わせた装置構成を前提として、装置をご提供します。

厚薄ウエハの搬送など、顧客が現在かかえている問題に相談に応じます。
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■ウエハ搬送機 TR100-mini
ウエハ搬送機 TR100-mini TR100-miniは、従来のウエハ搬送機よりも小型・省スペースを実現しました。
必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供します。
顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。
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■FOUPオープナー FO-300
FOUPオープナー FO-300

FOUPドアを自動で開閉するフロントオープンタイプのFOUPオープナーです。

顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。
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■欠陥検査装置
欠陥検査装置 ワークの表面、裏面、内面の欠陥を検出することが出来ます。 顧客の検出対象物、用途等から最適な照明、カメラを選定します。 顧客の検出対象物を実際に撮像、検査処理し検証を行います。
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