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開発品案内(半導体事業)
ウエハソータ TR100シリーズ
上位通信はもちろん、ロット分割・統合等の顧客の仕様搬送モードを搭載することが可能なので、量産ラインにおける生産性向上とともに、歩留まりにも大きく貢献することをお約束します。
ニーズに合わせたシステム構成が可能
ID読み取り、ロット管理が可能
多彩な搬送モードを搭載
分割・統合・平行移載・指定移載など