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開発品案内(半導体事業)
FOUPオープナー FO-300
FOUPドアを自動で開閉するフロントオープンタイプのFOUPオープナーです。 必要な機能のみを搭載していますので、無駄がなく、低価格にてご提供します。 カセットドア開閉動作を10秒以内で行います。 カセットを設置し、OPEN / CLOSE ボタンを押すだけの簡単操作でドア開閉動作を行います。
適応カセット
300mm FOUPカセット
スループット
カセットドア開閉時間：10秒以内
装置寸法
500(W)×630(D)×1000(H) mm
