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  太陽電池事業 半導体事業
チップ洗浄機

チップ洗浄機

純水とエアーの2流体でダイシング後のウエハ表面を洗浄する装置です。

独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。


特徴

搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功
2流体でウエハを徹底洗浄可能
歩留まりに貢献