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開発品案内(半導体事業)
チップ洗浄機
純水とエアーの2流体でダイシング後のウエハ表面を洗浄する装置です。
独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。
搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功
2流体でウエハを徹底洗浄可能
歩留まりに貢献