EFEM

搬送ロボットでローダにセットされたウエハを取出し、アライメント後

ウエハを反転しモジュール機器用ステージへウエハを搬送します。

その後、元のカセットへウエハを収納します。

お客様ご希望のモジュール機器に接続可能です。