ウエハ表面自動検査装置

ウエハ表面の欠陥を自動で検出する検査装置です。

オペレータによる目視検査から検査装置の自動化に対応します。

検出対象物を実際に撮像、検査処理し最適な装置をご提案することが出来ます。