測定終了後は、ウエハを元のカセット棚に収納可能です。
お客様ご希望の測定機、検査機に対応致します。
・搬送ユニット ・ローダ・アンローダユニット ・アライメントユニット ・IDリーダユニット ・測定ユニット(ご希望の測定機・検査機に対応可能)
・上位通信機能(オプション)