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ウエハ搬送機

ウエハ搬送機

カセットからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。

測定終了後は、ウエハを元のカセット棚に収納可能です。

お客様ご希望の測定機、検査機に対応致します。


特徴

ご希望の測定機、検査機を搭載可能
8インチ・12インチウエハに対応
測定条件、測定結果を上位転送可能