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開発品案内(半導体事業)
ウエハ搬送機
カセットからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。
測定終了後は、ウエハを元のカセット棚に収納可能です。
お客様ご希望の測定機、検査機に対応致します。
ご希望の測定機、検査機を搭載可能
8インチ・12インチウエハに対応
測定条件、測定結果を上位転送可能