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ウエハ自動外観検査装置

ウエハ自動外観検査装置

表面検査ユニットと裏面検査ユニットを搭載したウエハ自動外観検査装置です。

オペレータによる目視検査から検査装置の自動化に対応します。


特徴

表面検査の欠陥と裏面検査の欠陥を検出可能
2検査ユニット搭載により装置の省スペース化に対応
高スループット:55秒/枚 以下