ウエハ搬送機 Inline対応

ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。

測定終了後は、ウエハを指定されたアンローダカセットに収納可能です。

お客様ご希望の測定機、検査機に対応致します。