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開発品案内(半導体事業)
ウエハ厚み測定装置
移載機能と厚み測定機能を備えたウエハ厚み測定装置です。
指定したウエハ内の各ポイントの厚みを測定することが可能です。
6インチ・8インチに対応しています。