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  太陽電池事業 半導体事業
ウエハ搬送機
ウエハ搬送機 Inline対応

ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。

測定終了後は、ウエハを指定されたアンローダカセットに収納可能です。

お客様ご希望の測定機、検査機に対応致します。


仕様

ウエハサイズ 200mm、300mm
ウエハ搬送方式 裏面吸着方式
構成要素

・搬送ユニット

・受けステージユニット
・ローダ・アンローダユニット
・アライメントユニット
・IDリーダユニット
・測定ユニット(ご希望の測定機・検査機に対応可能)

・上位通信機能(オプション)

装置寸法 3200(W)×2350(D)×1600(H) mm
*突起物含まず
* 製品仕様の一例です。カスタマイズ仕様に対応致します。