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開発品案内(半導体事業)
ウエハ表面自動検査装置
ウエハ表面の欠陥を自動で検出する検査装置です。
オペレータによる目視検査から検査装置の自動化に対応します。
検出対象物を実際に撮像、検査処理し最適な装置をご提案することが出来ます。