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開発品案内(半導体事業)
ウエハ表面自動検査装置
ウエハ表面の欠陥を自動で検出する検査装置です。
オペレータによる目視検査から検査装置の自動化に対応します。
検出対象物を実際に撮像、検査処理し最適な装置をご提案することが出来ます。
ウエハサイズ
200mm OF、Vノッチ
ウエハ搬送方式
裏面吸着方式
構成要素
・搬送ユニット
・ローダ・アンローダユニット
・アライメントユニット
・表面検査ユニット
・上位通信機能(オプション)
装置寸法
1250(W)×1700(D)×1800(H) mm
*突起物含まず
* 製品仕様の一例です。カスタマイズ仕様に対応致します。