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トップページ ＞ 開発品案内(太陽電池事業)
| ■ウエハ検査システム WIS-2010C | ||||
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ウエハの厚み（Bow/Warp）、抵抗、マイクロクラック、表面、裏面を検査する装置
です。
ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。 ⇒ 製品詳細はこちら
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| ■モジュール検査システム MEI | ||||
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クラック検査、電極短絡検査、セル受光面欠陥検査を行う装置です。
オプションで配線部短絡による発熱検査に対応することも可能です。 ⇒ 製品詳細はこちら
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| ■ソ-ラセル搬送機 TR-1000L | ||||
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ウエハを1枚毎に分離し搬送します。
スタック状態のウエハも搬送することが出来ます。 ⇒ 製品詳細はこちら
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| ■スクリーン印刷外観検査ユニット PI-11 | ||||
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印刷後の外観検査を行います。 良品・不良品の判定をスクリーン印刷装置に出力します。
また、スクリーン印刷装置に容易に組込むことが可能です。
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