指定したウエハ内の各ポイントの厚みを測定することが可能です。
6インチ・8インチに対応しています。
・搬送ユニット ・ローダ・アンローダユニット(4キャリア設置) ・アライメントユニット ・ID認識ユニット(8インチガラス専用) ・厚み測定ユニット
・上位通信機能(オプション)