レイリサーチ株式会社｜半導体検査装置｜太陽電池検査装置 | ウエハソータ

ウエハ厚み測定装置

移載機能と厚み測定機能を備えたウエハ厚み測定装置です。

指定したウエハ内の各ポイントの厚みを測定することが可能です。

6インチ・8インチに対応しています。

ウエハサイズ	150mm、200mm
ウエハ搬送方式	ベルヌーイ方式
構成要素	・搬送ユニット・ローダ・アンローダユニット(4キャリア設置) ・アライメントユニット・ID認識ユニット(8インチガラス専用) ・厚み測定ユニット・上位通信機能（オプション）
装置寸法	1580(W)×1580(D)×1900(H) mm ＊突起物含まず

＊　製品仕様の一例です。カスタマイズ仕様に対応致します。