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ウエハキャリア歪検査装置　ASI-10

ウエハキャリアの歪を検査することが出来ます。ダミーウエハを使用せず、1キャリアあたり10秒で検査を行います。検査完了後、OK / NG のランプが点灯します。NGの場合、NGポイントをLEDに表示します。小径の穴からエアーを吸込み、吸込み面とキャリアとの隙間で発生する圧力変化を直接エアーマイクロゲージ方式で検出していますので非接触でゴミがでません。