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トップページ ＞ 開発品案内(半導体事業)
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ウエハ搬送機 TR100-mini 平行搬送、ロット分割、ロット統合、指定搬送など、顧客の仕様に合わせた搬送モードを搭載することが出来ます。 ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。 検査機用、搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。
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ウエハ搬送機 TR100-mini 平行搬送、ロット分割、ロット統合、指定搬送など、顧客の仕様に合わせた搬送モードを搭載することが出来ます。 ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。 検査機用、搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。
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