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開発品案内(半導体事業)
欠陥検査装置
専用の検出アルゴリズムソフトにより、ワーク内のキズ、Particle、結晶欠陥を抽出することが出来ます。 目視検査が困難な、微細なキズ、欠陥等を自動検査化することが可能です。 顧客の検査対象ワークを実際に撮像、検査処理をすることで、照明条件、カメラの検証を行い、選定します。
目視検査の自動化を実現
紫外線〜遠赤外線までの広帯域における照明から照明条件を見極める
必要分解能、要求タクトタイム、予算から最適なカメラを選定
