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開発品案内(半導体事業)
ウエハ自動外観検査装置
表面検査ユニットと裏面検査ユニットを搭載したウエハ自動外観検査装置です。
オペレータによる目視検査から検査装置の自動化に対応します。
ウエハサイズ
300mm Vノッチ
ウエハ搬送方式
エッジグリップ方式
構成要素
・搬送ユニット
・FOUPオープナー(2台)
・アライメントユニット
・検査ユニット(表面検査ユニット+裏面検査ユニット)
・上位通信機能(オプション)
装置寸法
1655(W)×2175(D)×2000(H) mm
*突起物含まず
* 製品仕様の一例です。カスタマイズ仕様に対応致します。