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開発品案内(半導体事業)
ウエハ搬送機 TR100-mini
平行搬送、ロット分割、ロット統合、指定搬送など、顧客の仕様に合わせた搬送モードを搭載することが出来ます。 ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。 検査機用、搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。
ウエハサイズ
100mm〜200mm オリフラ・ノッチ
ウエハ搬送方式
裏面吸着
構成要素
・搬送ユニット
・カセットステージユニット(2ポート対応)
*最大6ポートまで対応(オプション)
・アライメントユニット
・ID認識ユニット(オプション)
・上位通信機能(オプション)
装置寸法
602(W)×552(D)×1230(H) mm
*2ポート対応時の寸法