HOME 会社概要 企業理念 開発品案内 お問い合わせ 新着情報

開発品案内


トップページ開発品案内(半導体事業)
  太陽電池事業 半導体事業
ウエハ搬送機 TR100-mini
ウエハ搬送機 TR100-mini

平行搬送、ロット分割、ロット統合、指定搬送など、顧客の仕様に合わせた搬送モードを搭載することが出来ます。 ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。 検査機用、搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。

外形