レイリサーチ株式会社｜半導体検査装置｜太陽電池検査装置 | ウエハソータ

ウエハソータ　TR100シリーズ

上位通信はもちろん、ロット分割・統合等の顧客の仕様搬送モードを搭載することが可能なので、量産ラインにおける生産性向上とともに、歩留まりにも大きく貢献することをお約束します。

ウエハサイズ	150mm～200mm　オリフラ
ウエハ搬送方式	裏面吸着
構成要素	・搬送ユニット・カセットステージユニット（4カセット対応）＊ローダ1/アンローダ3 ・アライメントユニット・ID認識ユニット(オプション) ・上位通信機能（オプション）
装置寸法	1100(W)×1200(D)×1300(H)　mm ＊シグナルタワー高さ含まず

＊　製品仕様の一例です。カスタマイズ仕様に対応致します。