レイリサーチ株式会社｜半導体検査装置｜太陽電池検査装置 | ウエハソータ

EFEM

搬送ロボットでローダにセットされたウエハを取出し、アライメント後

ウエハを反転しモジュール機器用ステージへウエハを搬送します。

その後、元のカセットへウエハを収納します。

お客様ご希望のモジュール機器に接続可能です。

ウエハサイズ	300mm
ウエハ搬送方式	裏面吸着方式
構成要素	・搬送ユニット・ローダユニット・アライメントユニット・モジュール機器用ステージユニット（ご希望のモジュール機器に接続可能）・上位通信機能（オプション）
装置寸法	2070(W)×1650(D)×1860(H) mm ＊突起物含まず

＊　製品仕様の一例です。カスタマイズ仕様に対応致します。