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トップページ ＞ 開発品案内(半導体事業)
| ■ウエハ自動外観検査装置 | ||||
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表裏面検査ユニットと裏面検査ユニットを搭載した複合型のウエハ自動外観検査装置です。 ⇒ 製品詳細はこちら
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| ■ウエハ表面自動検査装置 | ||||
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ウェハ表面の欠陥を自動で検出する検査装置です。 検出対象物を実際に撮像、検査処理し最適な装置をご提案することが出来ます。
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| ■ウエハ厚み測定装置 | ||||
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移載機能と厚み測定機能を備えたウエハ厚み測定装置です。 顧客の仕様に合わせカスタマイズに対応致します。
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| ■チップ洗浄機 | ||||
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純水とエアーの2流体でダイシング後のウエハ表面を洗浄する装置です。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応致します。
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| ■ウエハ搬送機 | ||||
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ウエハの自動搬送を行うことが出来る搬送機です。 カセットからウエハを取出し、測定機に搬送し、測定終了後のウエハを元のカセット棚に自動搬送します。ご希望の測定機、検査機に対応可能です。
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| ■ウエハ搬送機 Inline対応 | ||||
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ウエハの自動搬送を行うことが出来るInline対応の搬送機です。 ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定機に搬送し、測定終了後のウエハを指定されたアンローダカセットに自動搬送します。ご希望の測定機、検査機に対応可能です。
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| ■EFEM | ||||
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ご希望のモジュール機器に接続可能なEFEMです。 ご使用用途に応じ、カスタマイズ仕様に対応致します。
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| ■ウエハソータ TR100シリーズ | ||||
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顧客の仕様に合わせた装置構成を前提として、装置をご提供します。 厚薄ウエハの搬送など、顧客が現在かかえている問題に相談に応じます。
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| ■ウエハ搬送機 TR100-mini | ||||
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TR100-miniは、従来のウエハ搬送機よりも小型・省スペースを実現しました。 必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供します。 顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。 ⇒ 製品詳細はこちら
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| ■FOUPオープナー FO-300 | ||||
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FOUPドアを自動で開閉するフロントオープンタイプのFOUPオープナーです。 顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。
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| ■欠陥検査装置 | ||||
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ワークの表面、裏面、内面の欠陥を検出することが出来ます。
顧客の検出対象物、用途等から最適な照明、カメラを選定します。
顧客の検出対象物を実際に撮像、検査処理し検証を行います。 ⇒ 製品詳細はこちら
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