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開発品案内


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  太陽電池事業 半導体事業
■ウエハソータ TR100シリーズ
ウエハソータ TR100シリーズ 顧客の仕様に合わせた装置構成を前提として、装置をご提供します。 厚薄ウエハの搬送など、顧客が現在かかえている問題に相談に応じます。
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■ウエハ搬送機 TR100-mini
ウエハ搬送機 TR100-mini TR100-miniは、従来のウエハ搬送機よりも小型・省スペースを実現しました。
必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供します。
顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。
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■FOUPオープナー FO-300
FOUPオープナー FO-300 FOUPドアを自動で開閉するフロントオープンタイプのFOUPオープナーです。 顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。
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■ウエハキャリア歪検査装置 ASI-10
ウエハキャリア歪検査装置 ASI-10 ウエハキャリアの歪を検査する装置です。 顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも出来ます。
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■欠陥検査装置
欠陥検査装置 ワークの表面、裏面、内面の欠陥を検出することが出来ます。 顧客の検出対象物、用途等から最適な照明、カメラを選定します。 顧客の検出対象物を実際に撮像、検査処理し検証を行います。
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