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トップページ ＞ 開発品案内(太陽電池事業)
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ウエハ検査システム WIS-2010C ウエハの厚み（Bow/Warp）、抵抗、マイクロクラック、表面、裏面を検査する装置です。 ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。 ローダはカセット方式またはスタック方式に対応します。 アンローダは検査結果により、13種類のカテゴリーに振分けすることが出来ます。 オプションでライフタイム測定に対応することが可能です。
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ウエハ検査システム WIS-2010C ウエハの厚み（Bow/Warp）、抵抗、マイクロクラック、表面、裏面を検査する装置です。 ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。 ローダはカセット方式またはスタック方式に対応します。 アンローダは検査結果により、13種類のカテゴリーに振分けすることが出来ます。 オプションでライフタイム測定に対応することが可能です。
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