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ソ-ラセル搬送機 TR-1000L
ソ-ラセル搬送機 TR-1000L

ウエハを1枚毎に分離し搬送します。 スタック(ウエハが重なった状態)ウエハも搬送することが出来ます。

特徴

ウエハを1秒/枚と高速検査することが可能
125mm□、156mm□ ウエハに対応可能
スタックウエハを1秒枚に分離し搬送