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ウエハ検査システム WIS-2010C
ウエハ検査システム WIS-2010C

ウエハの厚み(Bow/Warp)、抵抗、マイクロクラック、表面、裏面を検査する装置です。 ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。 ローダはカセット方式またはスタック方式に対応します。 アンローダは検査結果により、13種類のカテゴリーに振分けすることが出来ます。 オプションでライフタイム測定に対応することが可能です。

仕様

ウエハサイズ 125mm□・156mm□
ウエハ種類 単結晶・多結晶
スループット 1秒/枚
検査項目 ・厚み・Bow/Warp測定
・抵抗測定
・マイクロクラック検査
・表面・裏面検査
・ライフタイム測定(オプション)
装置寸法 4000(W)×1200(D)×1800(H) mm