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開発品案内(太陽電池事業)
ソ-ラセル搬送機 TR-1000L
ウエハを1枚毎に分離し搬送します。 スタック(ウエハが重なった状態)ウエハも搬送することが出来ます。
ウエハサイズ
125mm□・156mm□
ウエハ種類
単結晶・多結晶
スループット
1秒/枚
ローダ数
5ローダ
1ローダセット枚数
200枚
最大セット枚数
5ローダ×200枚=1000枚