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  太陽電池事業 半導体事業
ソ-ラセル搬送機 TR-1000L
ソ-ラセル搬送機 TR-1000L

ウエハを1枚毎に分離し搬送します。 スタック(ウエハが重なった状態)ウエハも搬送することが出来ます。

仕様

ウエハサイズ 125mm□・156mm□
ウエハ種類 単結晶・多結晶
スループット 1秒/枚
ローダ数 5ローダ
1ローダセット枚数 200枚
最大セット枚数 5ローダ×200枚=1000枚