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開発品案内(太陽電池事業)
スクリーン印刷外観検査ユニット PI-11
印刷後の外観検査を行い、良品・不良品の判定をスクリーン印刷装置に出力します。 また、スクリーン印刷装置に容易に組込むことが可能です。
ウエハサイズ
125mm□・156mm□
ウエハ種類
単結晶・多結晶
検査項目
・外観測定（外形寸法測定・割れ・欠け検出）
・配線寸法（線幅測定・断線検出・線幅太/細部分検出）
・欠陥検出（パターン外のペースト飛散り、バスバーの印刷禿げ等）
検査ユニット寸法
570(W)×345(D)×915(H) mm
制御ラック寸法
780(W)×725(D)×1370(H) mm
