トップページ
>
開発品案内(太陽電池事業)
ウエハ検査システム WIS-2010C
ウエハの厚み(Bow/Warp)、抵抗、マイクロクラック、表面、裏面を検査する装置です。 ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。 ローダはカセット方式またはスタック方式に対応します。 アンローダは検査結果により、13種類のカテゴリーに振分けすることが出来ます。 オプションでライフタイム測定に対応することが可能です。