| 年 月 |
内 容 |
| 2000年 8月 |
レイリサーチ株式会社 設立
資本金：1000万円 設立：2000年8月10日 |
| 2000年 9月 |
ウエハベベル傷検査装置開発 |
| 2000年11月 |
ウエハ移載機TR100開発 |
| 2001年 7月 |
ウエハ裏面傷検査装置開発
検査装置座標変換ソフト開発 |
| 2001年 9月 |
ウエハ移載機TR100F開発 |
| 2002年 4月 |
モールド装置画像処理開発 |
| 2002年 6月 |
ウエハ裏面検査検査装置開発 |
| 2003年 1月 |
ウエハ裏面傷検査ユニット開発（高速タイプ） |
| 2003年 9月 |
本社事務所移転
ウエハ表裏面傷検査ユニット開発 |
| 2003年10月 |
高感度ウエハ裏面傷検査ユニット開発 |
| 2004年 4月 |
ウエハ移載機TR100R開発 |
| 2005年 5月 |
ウエハ厚み測定装置開発
ウエハ外周部傷検査ユニット開発 |
| 2005年 6月 |
ウエハ裏面傷・結晶欠陥検査ユニット開発 |
| 2005年 9月 |
ウエハ結晶欠陥検査ユニット開発 |
| 2005年11月 |
高感度ウエハ結晶欠陥検査ユニット開発（高速タイプ） |
| 2006年 1月 |
赤外線欠陥検出装置開発 |
| 2006年10月 |
QRコード読取り装置開発 |
| 2007年 3月 |
赤外線欠陥検査装置（搬送機付）開発 |
| 2007年 4月 |
本社事務所移転 |
| 2007年 6月 |
FT-IR測定装置開発 |
| 2007年11月 |
インフィニティ有限会社と合併 2007年11月20日 |
| 2007年12月 |
ウエハ移載機 TR100RS（薄物ウエハ対応）開発
ウエハソータ TR100-mini開発 |
| 2008年 2月 |
FOUPオープナー FO-300開発 |
| 2008年 4月 |
ウエハキャリア歪検査装置 ASI-10開発 |
| 2008年11月 |
ウエハ検査システム WIS-5155開発 |
| 2009年 7月 |
モジュールEL検査システム（スタンドアロン タイプ） MEI開発 |
| 2010年 3月 |
ウエハ検査システム WIS-2010C開発 |
| 2010年 4月 |
モジュールEL検査システム（インライン タイプ） MEI開発 |
| 2011年 2月 |
モジュール・セル検査機（手動機） MEI開発 |
| 2011年 3月 |
インライン ウエハ検査装置 WIS-2011C/WIS2011M開発 |
| 2011年 7月 |
EL検査/簡易モジュール検査ユニット開発 |
| 2011年 9月 |
ウエハ移載機 SWT100開発 |
| 2011年12月 |
IR検査ユニット IRI300開発 |
| 2012年 6月 |
ウエハマッピングユニット MP3-25開発 |
| 2013年 1月 |
ウエハソータ SR100S開発 |
| 2013年 3月 |
外観検査装置 MPI-600開発 |
| 2013年11月 |
ウエハソータ TR100T開発 |
| 2014年 9月 |
研磨定盤傷検出装置 KTI-15J開発
ウエハ厚み測定装置 TR100WT開発 |
| 2014年10月 |
ギャップ判別センサ GPS4M開発 |
| 2015年 2月 |
FT-IR測定装置 搬送システム FT-IR1200開発 |
| 2015年 6月 |
チップ洗浄機 開発 |
| 2016年 2月 |
φ300用水銀プローバ用EFEM CV300開発 |
| 2016年 3月 |
ウエハ自動外観検査装置 開発 |
| 2016年 5月 |
IR検査ユニット P++対応 IRI300開発 |
| 2016年 8月 |
8インチ表面自動検査装置 SLI-200開発 |
| 2017年 5月 |
Wafer Handling Machine For FT-IR300 開発 |
| 2017年 6月 |
本社移転 |
| 2018年12月 |
ウエハ搬送機(FT-IR) FT-IR1200T開発 |
| 2019年 1月 |
ウエハ搬送機(FT-IR)インライン対応 FT-IR1200Inline開発 |
