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■沿革

年 月
内 容
2000年 8月

レイリサーチ株式会社 設立
資本金:1000万円 設立:2000年8月10日

2000年 9月 ウエハベベル傷検査装置開発
2000年 11月 ウエハ移載機TR100開発
2001年 7月 ウエハ裏面傷検査装置開発
検査装置座標変換ソフト開発
2001年 9月 ウエハ移載機TR100F開発
2002年 4月 モールド装置画像処理開発
2002年 6月 ウエハ裏面検査検査装置開発
2003年 1月 ウエハ裏面傷検査ユニット開発(高速タイプ)
2003年 9月 本社事務所移転
ウエハ表裏面傷検査ユニット開発
2003年 10月 高感度ウエハ裏面傷検査ユニット開発
2004年 4月 ウエハ移載機TR100R開発
2005年 5月 ウエハ厚み測定装置開発
ウエハ外周部傷検査ユニット開発
2005年 6月 ウエハ裏面傷・結晶欠陥検査ユニット開発
2005年 9月 ウエハ結晶欠陥検査ユニット開発
2005年 11月 高感度ウエハ結晶欠陥検査ユニット開発(高速タイプ)
2006年 1月 赤外線欠陥検出装置開発
2006年 10月 QRコード読取り装置開発
2007年 3月 赤外線欠陥検査装置(搬送機付)開発
2007年 4月 本社事務所移転
2007年 6月 FT-IR測定装置開発
2007年 11月 インフィニティ有限会社と合併 2007年11月20日
2007年 12月 ウエハ移載機 TR100RS(薄物ウエハ対応)開発
ウエハソータ TR100-mini開発
2008年 2月 FOUPオープナー FO-300開発
2008年 4月 ウエハキャリア歪検査装置 ASI-10開発
2008年 11月 ウエハ検査システム WIS-5155開発
2009年 7月 モジュールEL検査システム(スタンドアロン タイプ) MEI開発
2010年 3月 ウエハ検査システム WIS-2010C開発
2010年 4月 モジュールEL検査システム(インライン タイプ) MEI開発